清華大學(xué)實(shí)驗室新增設(shè)備 皓天鑫恒溫恒濕箱用于半導(dǎo)體濕熱測試
更新時間：2026-06-30 點(diǎn)擊次數(shù)：62
近日，清華大學(xué)微電子重點(diǎn)實(shí)驗室完成設(shè)備升級，皓天鑫科研級高精度恒溫恒濕試驗箱正式完成安裝調(diào)試并投入使用，專項服務(wù)于半導(dǎo)體芯片、封裝器件、晶圓材料濕熱可靠性驗證工作，補(bǔ)齊實(shí)驗室精密環(huán)境模擬測試硬件短板，為前沿半導(dǎo)體研發(fā)與人才培養(yǎng)筑牢硬件支撐。
半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)精密，封裝膠體、金屬線路、基板極易受濕熱環(huán)境侵蝕，高溫高濕易引發(fā)金屬遷移、絕緣層劣化、封裝分層漏電等失效問題，雙 85 穩(wěn)態(tài)濕熱測試是 JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的核心可靠性驗證項目，穩(wěn)定可控的溫濕環(huán)境是獲取精準(zhǔn)試驗數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)。此前實(shí)驗室原有設(shè)備溫濕度均勻性不足，難以滿足長周期、多批次芯片同步對照試驗需求，制約半導(dǎo)體材料、車規(guī)級芯片等課題研發(fā)進(jìn)度。校方經(jīng)過多輪性能比對、樣機(jī)實(shí)測與技術(shù)評審，綜合設(shè)備控溫精度、連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性、科研適配性與售后保障，選定皓天鑫恒溫恒濕系列設(shè)備。
本次入駐的皓天鑫恒溫恒濕箱專為高校半導(dǎo)體科研場景定制，溫控區(qū)間覆蓋 - 40℃~150℃，濕度可調(diào)范圍 10%~98% RH，溫度波動≤±0.3℃、濕度偏差控制在 ±1% RH 以內(nèi)，全域溫場均勻穩(wěn)定，匹配 JESD22、GB/T2423 等國內(nèi)外濕熱測試標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備搭載自適應(yīng) PID 智能調(diào)溫調(diào)濕系統(tǒng)，支持?jǐn)?shù)百組自定義交變溫濕程序全自動運(yùn)行，304 不銹鋼耐腐蝕內(nèi)膽適配芯片、PCB、晶圓等精密樣品測試，預(yù)留測試接線孔可實(shí)現(xiàn)帶電偏壓同步試驗，支持 7×24 小時不間斷長期試驗，試驗數(shù)據(jù)自動存儲、全程可溯源，大幅降低人工值守成本。
實(shí)驗室科研團(tuán)隊表示，該設(shè)備可精準(zhǔn)模擬沿海高濕、車載交變濕熱等復(fù)雜工況，高效開展芯片長期濕熱老化、封裝防潮性能、半導(dǎo)體新材料耐候性等試驗，快速暴露器件隱性工藝缺陷，為芯片封裝工藝優(yōu)化、新型半導(dǎo)體材料機(jī)理研究提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
此次校企合作落地，是皓天鑫深耕高校科研儀器領(lǐng)域的重要成果。未來皓天鑫將持續(xù)依托環(huán)境測試技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)為清華大學(xué)及全國各大高校、科研院所提供定制化可靠性測試解決方案，以精密試驗裝備助力國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展，打通實(shí)驗室技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化通道。
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