高溫高壓HAST老化機 半導體封裝測試

一、產品詳情

HAST老化機是一款用于半導體封裝可靠性驗證的高溫高壓加速老化設備。通過在密閉腔體內施加高溫、高濕、高壓條件，快速暴露芯片封裝中的分層、腐蝕、離子遷移等潛在缺陷，將傳統85℃/85%RH需1000小時的測試壓縮至數十小時完成。

高溫高壓HAST老化機 半導體封裝測試

二、技術參數

三、核心配置與部件

• 壓力容器：SUS316L不銹鋼內膽，法蘭式密封門，耐壓耐腐蝕

• 加熱系統：鈦合金加熱管，快速升溫，壽命長

• 加濕系統：純水加濕，精準控濕，防結垢

• 控制系統：西門子PLC + 7寸彩色觸摸屏

• 安全閥：機械式+電子式雙重超壓保護

• 密封條：進口硅膠密封圈，耐高溫高壓

• 傳感器：高精度PT100溫度傳感器 + 壓力變送器

四、工作原理

設備將純水加熱產生飽和蒸汽，在密閉壓力容器內形成高溫高壓高濕環境。通過精確控制溫度、壓力與時間，加速水汽滲透進入封裝體內部，模擬惡劣環境下的長期老化效應。飽和型（PCT）適用于密封性測試，不飽和型（HAST）適用于非氣密封裝可靠性驗證。

五、性能特點

? 升溫快：30分鐘內可達設定溫度
? 控溫準：PID自整定，波動≤±0.5℃
? 節能省水：循環回收系統，耗水低
? 操作簡：一鍵啟動，程序自動運行
? 數據全：實時曲線記錄，可導出U盤
? 安全強：八重安全聯鎖，無人值守

六、技術優勢

• 加速效率高：1000小時→48小時，研發周期大幅縮短

• 一致性優：腔體風道設計，溫濕度均勻

• 兼容性強：支持JEDEC、IEC、GB多種標準

• 擴展靈活：可選配偏壓測試、在線監測

• 維護便捷：模塊化設計，故障自診斷

七、滿足標準

• JEDEC JESD22-A118（HAST）

• JEDEC JESD22-A102（PCT）

• IEC 60068-2-66

• GB/T 2423.40

• MIL-STD-883 Method 1004

• AEC-Q100（車規芯片）